Nitrogén-trifluorid (NF3) nagy tisztaságú gáz
Alapvető információk
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Mi ez az anyag?
A nitrogén-trifluorid (NF3) szobahőmérsékleten és légköri nyomáson színtelen és szagtalan gáz. Mérsékelt nyomáson cseppfolyósítható. Az NF3 normál körülmények között stabil, és nem bomlik le könnyen. Magas hőmérsékletnek kitéve vagy bizonyos katalizátorok jelenlétében azonban lebomolhat. Az NF3 magas globális felmelegedési potenciállal (GWP) rendelkezik, ha a légkörbe kerül.
Hol használjuk ezt az anyagot?
Tisztítószer az elektronikai iparban: Az NF3-at széles körben használják tisztítószerként a félvezetők, plazma kijelző panelek (PDP) és egyéb elektronikus alkatrészek felületéről a maradék szennyeződések, például oxidok eltávolítására. Hatékonyan tisztítja ezeket a felületeket anélkül, hogy károsítaná őket.
Maratógáz a félvezetőgyártásban: Az NF3-at maratógázként használják a félvezetők gyártási folyamatában. Különösen hatékony a szilícium-dioxid (SiO2) és a szilícium-nitrid (Si3N4) maratására, amelyek az integrált áramkörök gyártásában általánosan használt anyagok.
Nagy tisztaságú fluorvegyületek előállítása: Az NF3 értékes fluorforrás különféle fluortartalmú vegyületek előállításához. Prekurzorként használják fluorpolimerek, fluor-szénhidrogének és speciális vegyi anyagok gyártásában.
Plazma előállítása a síkképernyős kijelzők gyártásában: Az NF3-at más gázokkal együtt plazma előállítására használják síkképernyős kijelzők, például folyadékkristályos kijelzők (LCD-k) és PDP-k gyártásában. A plazma elengedhetetlen a leválasztási és maratási folyamatokban a panelgyártás során.
Vegye figyelembe, hogy ennek az anyagnak/terméknek a használatára vonatkozó speciális alkalmazások és előírások országonként, iparágonként és célonként eltérőek lehetnek. Mindig tartsa be a biztonsági előírásokat, és konzultáljon szakértővel, mielőtt ezt az anyagot/terméket bármilyen alkalmazásban felhasználná.
